该晶圆生育加工厂坐落于华中中北部,重点生育8屏幕尺寸半导体设备晶圆,平均废水处理工艺直接排股票放量约800吨。因此生育的过程中便用非常多的氢氧化钠实现晶圆蚀刻,诱发废水处理工艺中氟化物酸度高达模型200-300mg/L,远超欧洲国家直接减排标准规范(10mg/L下例)。
生活污水成份及收入
化工废水注意来这三个节点:
晶圆蚀刻加工过程
:含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、氰化钠及多量血本属
化学式自动化磨光(CMP)废水处理方法
:含納米级硅粉末、有机的络合剂
机 清洁工作焦化废水
:含异丙醇、化学需氧量等有机肥料物
进行处理生产技术的流程
按照"化学物质放置自己+混疑放置自己+广度脱水"三级考试加工控制系统:
二级正确处理
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,演变成氟化钙沉淀物,氟化物我们要除率达85%
一级处置
:更改PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),清掉溶液态严重污染
三类正确处理
:完成多物质吸器和活力性炭吸,冒水氟化物盐浓度比较稳定在8mg/L有以下
主要设配收录:pH设计自动转换设计、斜管放置池、板框过滤机(污泥处理过滤)。
之后体验
大型项目使用5年监测站大数据表现:
氟化物平均值质量浓度:7.2mg/L(降至部委的标准)
COD去掉率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副商品约150吨,保证 影视减量化回收利用