该 装修案例来豫东沿海地区的一家中型半导体技术生育制造行业,一般生育整合电源电路基带芯片。在生育步骤中,晶圆清晰、蚀刻等制作工艺需适用巨大电子厂级磷酸(溶解度≥85%),由此而知产生了高氨水浓度含磷污水。行业原始除理基础设施不可能充分考虑渐趋要从严的排污的标准(TP≤0.5mg/L),肯定需要提升等级拆除。
废水处理工艺材质及來源
废污水大部分來来自于四个的环节:晶圆的清洗废污水(占总发电量60%)、的设备情况呢废污水(30%)包括水泥地面情况呢废污水(10%)。污水水质特征描述表演为:pH值1.5-2.5,总磷氧化还原电位800-1200mg/L,氟阳离子的含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含有微量分析高价属(铜、锌等)。
正确处理生产技术标准流程
新项目按照"预治疗+电学悠长岁月中+高档氧化反应+的深度过虑"的组装的工艺:
的调节池
:多样化饮用水水流量,下设pH线上数据监测平台
6级作用池
:加药生石灰粉乳缓解pH至8.5-9.0,构成Ca3(PO4)2沉定
中级不良反应池
:加PAC和PAM增幅二沉池成果
斜板奠定池
:保证固液分离出来,废水开始甩干平台
Fenton腐蚀单元尺寸
:H2O2与Fe²⁺信息化使用吸附有机的物
多材质进行过滤系统
:石英砂砂+活力炭结合过滤器,抓实有水出清澈见底
亚铁离子互相交换机系统
:进一次的还原残留金属材质铁离子
终究成果
操作系统运转稳定性高后,出水量水体:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阳离子≤5mg/L,多种评价指标远远超过《电子元器件化工业水污染问题物废气废气原则》(GB 39731-2020)。每一年的限制磷废气废气约15吨,工业废水制造量较普通艺有效降低40%,运转成本价管控在8.两元/吨水。