该厂为85英寸晶圆生产的线生活配套的超软水体系，每日产生含硅生产废水150吨。生产废池里虽无巨资属，但硅含量的高易结渣，且电阻功率率需要求18MΩ·cm才可造纸废水办理。改变办工院艺没有办法要求新制定的《网上工艺水环境工业废气污染物规格》（GB39731-2020）特别的污染物允许值。 废污水含量特征 一般弄脏物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（比表面积0.1-1μm） 特俗规定要求 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 环境质量特质 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机物要素复杂性 处置技术程序 不断创新选用"梯级膜破乳+电去正离子"组合名字的工艺： 微滤预工作 ：1μm陶瓷厂家膜阻拦大颗粒剂硅，通量保护80LMH 化合物交流不饱和树脂 ：D201大孔聚酯树脂选购性吸附性硅酸碳原子 中级RO体统 ：第一名段收回率60%，2段利用高脱硼膜开关元件 EDI电去阴阳离子 ：电压电流体积2A/m²，一直去掉稳定度正离子 分光光度计消菌 ：254nm直射线摄入量40mJ/cm² 技術重点 开拓转用阻硅剂（可挥发胺类组合物），廷迟膜污染问题周期时间3倍 EDI输出模块不断创新流道设定，硅清除率增强至99.8% 手机在线硅了解仪（量测区间0.1-500μg/L）达到正确操纵 正常运行作用 经第3方的检测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L减至0.3μg/L 系统化的回收利用率从原40%升级至68% 膜换期限延时至5年，年运营投资成本降35%