某半导手工制造工厂因晶圆洗步骤形成含氨废污水，出水量200吨/天。废污一般的水都除高锰酸盐指数外还包含的氟化物和少量巨资属，整理高难度大。本土排放量标想要高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理组成成分及种类 晶圆的清洗废水处理工艺（主要是来源地）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀道工序废水处理：含进样器铜、镍等血本属，pH值下降大 CMP碾磨生活污水：含硅颗粒肥料及氯离子 整理加工制作工艺 过程 选用"普通机械奠定+膜剥离+折点氯化"乐队组合方法： 预工作 ：加药CaCl2除氟，把控好pH在7.5-8. 超滤膜系统化 ：取除0.01μm这些颗粒剂物 反覆盖精提 ：将氧化还原电位果汁至1000mg/L以上的 折点氯化 ：正确设定氯污泥脱水量，将挥发酚转变成为氢气 亚铁离子互换 ：基本保障巨资属及格 终结使用效果 氯离子安稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含氧量降至论文检测限 水回收率达75% 污水生产量减低40%